4月1日，上海科创基金子基金华登三期及聚源聚芯被投企业——合肥芯碁微电子装备股份有限公司在科创板正式挂牌上市（股票代码：688630），上海科创基金投资组合中上市公司数量增至24家，其中科创板14家。

芯碁微装是光刻技术领域里拥有关键核心技术的PCB直接成像设备及泛半导体直写光刻设备的国产供应商之一，在微纳直写光刻核心技术领域具有丰富的技术积累，在系统集成技术、光刻紫外光学及光源技术、高精度高速实时自动对焦技术、高精度高速对准多层套刻技术、高精度多轴高速大行程精密驱动控制技术、高可靠高稳定性及ECC技术、高速实时高精度图形处理技术和智能生产平台制造技术等前沿科技领域，拥有技术优势。芯碁微装坚持自主研发与创新，拥有完整的自主知识产权。凭借团队领先的研发水平，获得71项技术专利，并获批建立了 “外国专家工作室”和“第十批省级博士后科研工作站”。

上海科创基金是根据上海市委、市政府部署要求，由上海国际集团牵头，于2017年发起设立的以服务上海科创中心建设为使命的市场化母基金。基金目标规模300亿元人民币，首期规模65.2亿元人民币。截至目前，已投资签约子基金超过40支，子基金签约总规模超过700亿元，穿透已投项目超过700个。已上市企业达到24家，其中科创板14家。